产品优势：
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1.?堆叠式高产能架构，占地面积小
2.?可与光刻机联机，满足工厂自动化需求
3.?配备多段回吸的多腔体共用供胶系统，有效节省光刻胶的用量
4.选配高精度热板、WEE、AOI等单元部件，满足更高标准工艺需求
5.核心单元模块化设计，组合方式灵活多变，最大限度客制化
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